西门子模块6ES7253-1AA22-0XA0库存现货

      谐振式传感器的振子是把被测量的变化转换为频率变化的关键元件，它对传感器的精度、灵敏度和稳定性等有很大影响，对它的设计要求较高，主要可从下述几个方面进行考虑。
(1) 减小非线性
      谐振式传感器的特性曲线几乎都是非线性的。选择合适的工作点和**工作频段对减小非线性非常重要。为获得较高的测量精度，必须在转换电路中进行非线性校正。
(2) **灵敏度
      可通过适当选择下面振子有关参数来**灵敏度：密度、弹性模量、泊松比等材料物理特性参数；厚度、半径、长度等结构参数；初始谐振频率，预加载荷等。压电式谐振传感器采取围压加载方式时，其灵敏度*高。
(3) **稳定性
      应选择强度高、参数稳定的振子材料，如石英晶体，琴钢丝，铁镍横弹合金等；应选择Q值较大的振子，Q值越大，谐振频率的稳定性越高，传感器的工作也越稳定，抗外界干扰的能力越强，其重复性也就越好；要尽量**材料的弹性极限，保证在*大载荷下，材料弹性变形为材料弹性极限的1/3～1/2以下；*后，结构上**作成一体的，否则振子与其它部分的连接必须具有很强的抗滑能力。
(4) 减小温度误差
      由于构成传感器的材料受温度影响，均将产生温度变形，造成输出信号的不稳定。为减小温度的影响，可采取下面措施：采用零温度系数的材料，或温度系数恒定的材料，其弹性模量受温度影响小；采用线路补偿；采取恒温措施；传感器设计成封闭系统，使传感器机械结构自身达到热补偿；对因温度变化而影响振子谐振频率变化的传感器部分，通过选取适当的尺寸和温度系数，保持胀缩平衡。
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   单晶硅谐振式传感器谐振式气压传感器谐振式压力传感器   高精度石英谐振压力传感器谐振式气压传感器谐振式直接质量**传感器

     谐振式传感器的种类很多，大体分为两类：一类是基于机械谐振结构谐振式传感器；另一类是MOS环振式谐振传感器。其中机械式谐振式传感器应用*广。机械式谐振传感器的振子可以有不同的结构形式，图所示为常见的a张丝状、b 膜片状、c 筒状、d梁状等，相应的有振动弦式、振动膜式、振动筒式、振动梁式等谐振传感器之分。通常振子的材料采用诸如铁镍恒弹合金等具有恒弹性模量的所谓恒模材料。但这种材料较易受外界磁场和周围环境温度的影响。石英晶体在一般应力下具有很好的重复性和*小的迟滞，其谐振子的品质因素Q值极高，并且不受环境温度影响，性能长期稳定，采用石英晶体作为振子可制成性能更加优良的压电式谐振传感器。其振子通常采用振膜或振梁形状，但按振子上下表面形状它又分为e扁平形、f 平凸形和g 双凸形三种，如图2所示。表1给出了各种类型机械式谐振传感器的优缺点及应用领域。

图 振子的结构类型
表1各种类型机械式谐振传感器的优缺点及应用领域类型优点缺点应用领域振弦式传感器结构简单牢固、测量范围大、灵敏度高、测量电路简单对传感器的材料和加工工艺要求很高，精度较低广泛用于大压力的测量，也可用来测量位移、扭矩、力和加速度等振膜式传感器具有很好的稳定性、重复性和较高的分辨率(一般可达0.3～0.5kPa/Hz)。精度可达0.01%，重复性可达十万分之几的数量级，长期稳定性可达每年0.01～0.02%对传感器的材料和加工工艺要求很高，精度较低航空航天技术中大气参数(静压及动压)的测量；它还常用来做标准计量仪器标定其它压力传感器或压力仪表。它也可以测液体密度、液位等参数振筒式传感器迟滞误差和漂移误差小，稳定性好，分辨率高以及轻便、成本低对传感器的材料和加工工艺要求很高，精度较低主要用于测量气体的压力和密度等振梁式传感器稳定性好抗干扰强对传感器的材料和加工工艺要求很高，精度较低测静态力和准静态力压电式谐振传感器体积小，重量轻；稳定性好；Q值可达40000；动态响应好；抗干扰能力强( 不受外界磁场干扰， 灵敏度稳漂为4% -5%/℃)对传感器的材料和加工工艺要求很高压力压差